半导体陶瓷

用于LED刻蚀的碳化硅托盘（SiC托盘）φ 600mm是深硅刻蚀（ICP刻蚀机）的专用配件。晶圆托架，也称为晶圆托架或硅晶圆托架，英文称为口袋晶圆。它广泛应用于半导体的CVD和真空溅射工艺。我们可以为客户提供定制的硅和碳化硅材质的晶圆托架，以满足客户不同的应用需求。

用于扩散炉自动装卸的碳化硅（SiC）悬臂桨是半导体晶圆装卸系统的关键部件。碳化硅悬臂桨广泛应用于光伏新能源行业，主要规格有2378 mm、2550 mm、2660 mm等。碳化硅悬臂桨主要用于扩散炉中多晶硅片或单晶硅片的（扩散）镀膜工艺，在高温环境（1000-1300℃）下起到承载和输送硅片的作用。

氧化锆陶瓷晶片夹具是一种常用的太阳能光伏设备陶瓷配件，也是光伏发电设备的重要组成部分。陶瓷顶齿轮的加工难度很高，主要原因是其材料和结构的特殊性。

当选用铝合金作为蚀刻机的腔室材料时，容易造成金属颗粒污染。因此，通常会在铝合金表面涂覆一层致密的阳极氧化铝层，通过阳极氧化来提高腔室材料的耐腐蚀性。但实际应用发现，该阳极氧化铝层容易发生剥落。

本发明提供一种用于在热处理过程中固定半导体晶圆的防滑陶瓷槽舟式垂直托架或舟，尤其关注一种能够有效支撑标称直径等于或大于约 200 毫米的大型半导体晶圆的垂直托架，优选能够支撑标称直径约为 300 毫米或更大的晶圆。

氧化锆陶瓷长齿导轨也称为陶瓷梳、陶瓷夹持器。它由氧化锆陶瓷材料制成，因为这种陶瓷材料耐高温、耐腐蚀且非常耐磨。此外，由于其表面光滑致密，因此也非常容易清洁和清洗。

这款氧化铝陶瓷臂设计用于搬运 4 英寸、6 英寸和 8 英寸的硅片。客户对电导率有如下要求：1. 验收标准：1*10E4＜R＜1*10E9 Ω；2. 参考验收方案：摩擦备件表面，并使用表面静电测试仪进行测量。静电压力小于 50V。

半导体氧化铝陶瓷零件，用作半导体备件。特点：1. 弧面精度优于±0.02mm；2. 所有孔的精度均达到±0.01mm；检测设备：自动二维检测仪

陶瓷晶片载体支撑板采用氧化锆陶瓷材料制成，这是因为氧化锆陶瓷表面经抛光后更加光滑，其粗糙度可低于 Ra 0.1，因此更易于清洁。此外，该材料还具有耐化学腐蚀、耐磨、耐高温和强度高等优点。

氧化铝陶瓷机器人手臂，CNC精密加工。我公司提供的陶瓷机器人手臂主要分为夹持式、轴承式和真空吸附式。尺寸有2英寸、4英寸、6英寸、8英寸、12英寸，非标尺寸可定制。

使用陶瓷晶片舟的优点：1.耐高温达3000°F (1650℃)；2.超强耐酸、耐溶剂、耐盐、耐有机物腐蚀，耐磨损；3.易于清洁；4.抗冲击性强；5.防滑。

陶瓷机械臂/陶瓷末端执行器的特点：耐高温、耐腐蚀、耐磨损、绝缘等。可在高温、真空和腐蚀性气体环境下使用。