半导体行业使用的陶瓷末端执行器:
由于陶瓷材料通常具有优异的电学、机械和物理性能,其在半导体行业的应用日益广泛。随着集成电路制造商不断追求芯片速度更快、尺寸更小、成本更低,半导体制造设备公司也越来越依赖先进的陶瓷元件来实现所需的性能。
半导体行业用陶瓷的制造工艺与标准结构陶瓷的制造工艺基本相同,均采用传统的成型和致密化方法。最大的区别在于对陶瓷纯度的高要求,以及有时对电性能的严格控制。
陶瓷机械臂/陶瓷末端执行器的特点:
耐高温性
耐腐蚀性
耐磨性
隔热及其他性能。
它可在高温、真空和腐蚀性气体环境下长期使用,广泛应用于各种半导体生产设备。我公司生产的陶瓷臂采用高纯度氧化铝陶瓷原料,经冷等静压、高温烧结和精密加工而成。
尺寸精度可达±0.001mm,表面光洁度可达Ra0.1,使用温度最高可达1600℃。我公司采用独特的陶瓷粘接技术,粘接后的空心陶瓷臂最高使用温度可达800℃。

