陶瓷末端执行器

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陶瓷末端执行器/陶瓷机械臂用于在半导体生产过程中操控和搬运硅晶圆。它能够处理大尺寸晶圆,并且可以设计成带有真空通道以固定晶圆。

我们的陶瓷末端执行器采用高纯度氧化铝陶瓷制成,广泛应用于半导体、光电、集成电路、晶圆、TFT-LCD等行业。我们拥有专业的设计和生产团队,致力于研发生产各种精密陶瓷臂,以满足半导体制造行业的现代发展趋势。我们也可根据客户要求进行定制生产。此外,我们还可以在特殊的真空环境下,利用陶瓷臂开发各种晶圆。

在机器人学中,末端执行器是连接到机器人手臂末端的装置或工具。末端执行器的结构以及驱动它的程序和硬件的特性取决于预期的任务。

机械臂在不更改辅助硬件和/或程序的情况下,只能执行某些特定的末端执行器任务模式。例如,不能直接用螺丝刀头替换夹爪并期望获得理想的效果。必须修改机器人控制器的程序,并使用不同的末端执行器电机组来提供扭矩而非抓取力。之后,才能用螺丝刀头替换夹爪。

陶瓷末端执行器规格:

  1. 标准桨和叉设计
  2. 适用于 4 英寸、5 英寸、6 英寸、8 英寸和 12 英寸晶圆
  3. 真空和非真空
  4. 耐高温
  5. 化学耐受性
  6. 经久耐用,性能可靠

高性能陶瓷末端执行器,具有良好的耐久性

用于半导体行业的陶瓷机械臂/末端执行器

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