半导体行业用陶瓷手臂,陶瓷吸盘 :
由于陶瓷通常具有良好的电气、机械和物理性能,因此陶瓷在半导体工业中的应用正在增加。随着集成电路制造商努力使芯片更快、更小、更便宜,半导体制造设备公司越来越依赖先进的陶瓷元件来实现所需的性能。半导体行业的陶瓷制造是典型的标准结构陶瓷制造,使用传统的成型和致密化方法。最大的区别是陶瓷的高纯度要求,有时对电性能的控制非常严格。
陶瓷手臂,陶瓷吸盘的主要特点:
耐高温,
耐腐蚀性,
耐磨性,
绝缘和其他性能。
可在高温、真空和腐蚀性气体环境中长期使用,广泛应用于各种半导体生产设备中。我公司生产的陶瓷臂是以高纯氧化铝陶瓷为原料,经冷等静压、高温烧结、精密加工而成。
尺寸精度可达±0.001mm,光洁度可达Ra0.1,使用温度可达1600度。我公司采用独特的陶瓷粘接技术,粘接的空心陶瓷臂最高可使用800度。