半导体陶瓷臂可处理 4 英寸、6 英寸、8 英寸晶圆
这款氧化铝陶瓷机械臂设计用于搬运 4 英寸、6 英寸和 8 英寸的硅晶片。客户对导电性有如下要求：
1. 验收标准：1*10E4＜R＜1*10E9 Ω
2. 参考验收方案：摩擦备件表面，并用表面静电测试仪进行测量。静电压力小于50V。
客户不要求这些孔径尺寸。我们会协助他们进行设计。吸盘位置、进出水孔尺寸、安装位置以及我们需要的整体尺寸都应在图纸上标明。
机械臂的静电测试方法是摩擦机械臂表面，然后用表面静电测试仪进行测量。如果静电压力小于50V，则通过。
客户不要求这些孔径尺寸。我们会协助他们进行设计。吸盘位置、进出水孔尺寸、安装位置以及我们需要的整体尺寸都应在图纸上标明。
