等离子蚀刻设备用陶瓷聚焦环

当选用铝合金作为蚀刻机腔室材料时，容易造成金属颗粒污染。因此，通常在铝合金表面阳极氧化一层致密的氧化铝阳极氧化层，以提高腔室材料的耐腐蚀性。然而，实际应用中发现，氧化铝阳极氧化层容易剥落。这主要是由于合金中的杂质发生偏析，导致氧化铝阳极氧化层表面容易产生微裂纹，从而降低了氧化铝阳极氧化层的使用寿命。因此，通常采用高纯度氧化铝陶瓷作为腔室材料。

作为一种耐等离子刻蚀的腔体材料，它具有以下特点。

（1）生产设备简单，自动化程度高，生产过程成本低。

（2）由于通常使用卤素气体对硅晶片进行高速刻蚀，铝容易与卤素反应生成挥发性Al-F副产物，污染晶片。

（3）随着金属杂质的加入，硬度和弯曲强度明显降低。

（4）在高温下，纳米晶体容易生长，导热系数降低。

（5）在梯度涂层中，分层效应加剧。