用于扩散炉自动装载和搬运的碳化硅 (SiC) 悬臂桨
碳化硅悬臂桨是半导体晶圆装载系统的关键部件。碳化硅悬臂桨广泛应用于光伏新能源行业，主要规格有2378毫米、2550毫米、2660毫米等。
碳化硅悬臂螺旋桨主要用于扩散炉中多晶硅片或单晶硅片的（扩散）涂层工艺，在高温环境（1000-1300℃）中起到承载和输送硅片的作用。
碳化硅悬臂桨是半导体晶圆装载系统的关键部件。碳化硅悬臂桨广泛应用于光伏新能源行业，主要规格有2378毫米、2550毫米、2660毫米等。
碳化硅悬臂螺旋桨主要用于扩散炉中多晶硅片或单晶硅片的（扩散）涂层工艺，在高温环境（1000-1300℃）中起到承载和输送硅片的作用。
