用于晶圆搬运的氧化锆陶瓷长齿导轨
氧化锆陶瓷长齿导轨也称为陶瓷梳齿、陶瓷夹爪。它采用氧化锆陶瓷材料制成，因为这种陶瓷材料具有耐高温、耐腐蚀和高耐磨性。此外，由于其表面光滑致密，因此非常易于清洁和清洗。氧化锆陶瓷齿导轨采用特殊的加工工艺，可显著减少晶圆上的划痕。它被安装在DOA设备的自动晶圆处理系统中。
DOA全自动晶圆处理系统集成了晶圆的上下料功能，可将晶圆从陶瓷舟卸载到晶圆盒，或将晶圆从晶圆盒装载到陶瓷舟。该系统可用于单槽内放置两片背靠背晶圆（实现单面扩散），也可用于单槽内放置一片晶圆（实现双面扩散）。连续的晶圆上下料功能可确保连续生产，也可仅用于晶圆的上下料或装载。
用于晶圆搬运的氧化锆陶瓷长齿导轨的参数：
| 模型 | 价值 |
| 晶圆尺寸（毫米） | 210毫米 |
| 破损率 | ≤0.03% |
| 脚印 | 定制 |
| 陶瓷船尺寸 | 每艘船1200片，螺距3.15 |
| 能力 | 每月100万件 |
| 装载方法 | 方形晶圆装载 |
| 功耗 | 13千瓦 |
| 加工方式 | 拍打，研磨 |
