半导体行业使用的陶瓷末端执行器

半导体行业使用的陶瓷末端执行器

由氧化铝陶瓷材料制成的氧化铝陶瓷指有哪些功能？氧化铝陶瓷是一种常见的工业陶瓷。高纯度氧化铝陶瓷只能用金刚石研磨。氧化铝陶瓷指具有诸多优点。高纯度、高精度的氧化铝陶瓷指具有超薄、高平整度、抗静电和良好的气密性等特点。

氧化铝陶瓷指有很多名称，例如工业陶瓷机械吸附臂、高纯氧化铝机械臂、真空吸附机械臂、晶圆搬运机械臂等。

顾名思义，氧化铝陶瓷指是一种用于半导体设备的陶瓷配件。其主要制造材料为95%～99.9%的氧化铝陶瓷，用于抓取和输送晶圆芯片。它相当于机器上的“人手”，加工尺寸精度可控制在0.01mm左右。

高纯度氧化铝陶瓷指状电极具有优异的物理性能，例如高硬度和高耐磨性。此外，它还具有良好的耐热性、优异的机械强度、良好的绝缘性和在高温环境下良好的耐腐蚀性。

1. 耐高温性

氧化铝陶瓷可在高达 1650 °C 或 2900 °F 的大气环境中以及高达 2000 °C 或 3600 °F 的真空环境中使用。

在1000℃下，它仍能保持室温下50%的抗拉强度。虽然金属的强度在高温下会降低，但氧化铝陶瓷在恢复到常温后仍能保持其强度，并且保持不变。

氧化铝陶瓷具有高电阻率，能够承受热冲击。纯度越高，其电阻率越大。由于其优异的介电性能，氧化铝陶瓷成为一种良好的绝缘材料，电流无法通过。

2. 耐磨性

耐磨性是指材料即使在机械磨损后仍能保持其原始结构。硬度则体现了材料承受机械磨损的能力。氧化铝陶瓷比钢和碳化钨刀具更硬。

由于氧化铝陶瓷具有高硬度，因此具有很强的耐磨性。材料的机械性能取决于其强度，即材料能够承受的应力大小。氧化铝陶瓷具有优异的强度和硬度，因此其耐磨性非常强。

3. 耐化学性

氧化铝陶瓷具有耐酸碱腐蚀的特性，因为它性质惰性，不发生化学反应，因此能够抵抗溶剂和盐溶液等化学物质的侵蚀。

4. 高密度

物质的密度是其质量除以其体积，读作克每立方厘米（g / cm3），其中克是质量，立方厘米是体积。

随着体积的增加，材料的密度也随之增加。氧化铝陶瓷由细小的颗粒组成，材料内部空隙很少，这意味着该材料具有较高的体积和密度。氧化铝陶瓷的密度会随温度变化。