氮化铝特性：
氮化铝坩埚具有优异的热学、机械和电学性能，例如高导热性、低介电常数、与硅匹配的线膨胀系数、优异的电绝缘性、低密度、无毒、强度高等。随着微电子器件的蓬勃发展，高导热性氮化铝陶瓷作为基体材料或封装材料得到了广泛应用。
氮化铝（化学式为AlN）是工程陶瓷家族中一种较新的材料，它是一种具有六方晶体结构的共价键合材料。AlN具有优异的热学、力学和电学性能，例如高导热性、低介电常数、高电阻率、低密度以及与硅相匹配的热膨胀系数。
氮化铝数据表：
| 材料日期表 | ||||
| 特性 | 单位 | ASD-II | ASD-III | |
| 颜色 | - | 灰色/米色 | ||
| 微观结构 | - | |||
| 表面粗糙度（Ra） | 嗯 | |||
| 扭曲 | ‰ | |||
| 机械的 | 密度 | 克/立方厘米 | 3.34 | 3.12 |
| 孔隙率 | % | 0 | 0 | |
| 弯曲强度 | 百万 | >350 | 390 | |
| 抗压强度 | 百万 | 2100 | 1800 | |
| 弹性模量 | 平均绩点 | >330 | 440 | |
| 泊松比 | / | 0.24 | 0.17 | |
| 硬度 | kg/mm2 | 1100 | 2800 | |
| 断裂韧性 KIC | 兆帕 * 米 1/2 | 2.6 | 3.9 | |
| 热的 | 热导率 | W/ m*k | 170-180 | 120 |
| 热膨胀系数 | 10-6/K | 4.5 | 3 | |
| 比热容 | 焦耳/千克·开尔文 | 740 | / | |
| 热冲击阻力 | 摄氏度 | / | 230-260 | |
| 最大使用温度 | 摄氏度 | / | 1550 | |
| 电气 | 介电强度 | 交流千伏/毫米 | 42-44.53 | / |
| 介电常数 | / | 10.1-10.6 | 9.66~10.03 | |
| 损失正切 | / | 0.0003 | / | |
| 体积电阻率 | 欧姆·厘米 | >1014 | 10²-10⁶ | |
